波长色散X射线荧光光谱仪WDA-3650用于薄膜评估的X射线荧光分析仪同时对各种薄膜的薄膜厚度和成分进行无损、非接触式分析。这是一种波长色散X荧光光谱仪（WD-XRF），可以以非破坏性和非接触方式同时分析尺寸达~200mm的晶圆上各种薄膜的厚度和组成。

日本理学连续波长色散X射线荧光光谱仪ZSX Primus 400专为处理非常大或重的样品而设计，非常适合分析溅射靶材、磁盘，或用于多层薄膜计量或大型样品的元素分析。

理学波长色散型X射线荧光光谱仪Simultix 15是一种用于分析物质成分的仪器。它利用X射线与物质相互作用产生的特征性荧光辐射进行分析。

德国斯派克X荧光光谱仪采用与斯派克公司高性能实验室用台式荧光光谱仪相同的小型低能量的X射线管，保证了准确的离子激发效果。特殊开发的SDD检测器，数据采集速度10倍于传统的检测器，提高了仪器的分析灵活性。

斯派克 X荧光光谱仪 XEPOS技术参数内部采用高性能部件，可获得好的灵敏度和准确性。采用偏振次级靶以确保*佳激发，12位样品自动交换器，预先安装好的应用软件包和智能软件模块，使SPECTRO XEPOS成为真正的多功能元素分析仪。

多功能偏振型X射线荧光光谱仪具有多达十几种校正模式(数学模型)(方法)，在定量分析中可充分应用，已取得最佳的分析结果。

能量色散小焦点X射线荧光光谱仪采用空冷、低能量X射线管和高分辨率的检测系统，集准直、聚焦、样品激发于一体，是功能强大的金属分析仪SPECTRO MIDEX　适合分析体积很小的稀有金属或面积较小的样品。

X射线荧光光谱仪具有创新的光学上述配置。由于样品室的维护，再也不用担心被污染的光束路径或停机时间。光学元件以上的几何结构消除了清洁问题并延长了使用时间。