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蔡司钨灯丝扫描电镜利用钨灯丝产生的热电子来形成电子束。这个电子束被聚焦并加速,然后通过一系列的透镜系统来控制和聚束。电子束扫描样品表面,并与样品相互作用。与样品交互作用的电子会产生多种信号,包括二次电子、反射电子、散射电子等。这些信号被探测器捕捉,并转化为图像。