X射线荧光光谱仪液态样品经高效雾化器雾化后形成气溶胶，气溶胶在预混合雾化室中与燃气充分混合均匀，再通过燃烧的热量使进入火焰的试样蒸发、熔融、分解成基态原子，基态原子被高性能空心阴极灯激发至高能态，处于高能态的原子不稳定，在去激发的过程中以光辐射的形式发射出原子荧光。原子荧光的强度与被测元素在样品中的含量成正比，从而测定样品中金的含量。
X射线荧光光谱仪经常使用时，如果不好好维护，还是容易出现故障的，其各个部件的维护方法如下：
1、火焰原子化器的维护火焰原子化器的维护与原子吸收分光光度计相同，要保证雾室的废液畅通无阻，才能点火。点火的顺序是先开启助燃气后开启燃气，熄灭的顺序是先关闭燃气，待火熄灭后再关闭助燃气。如果发生“回火”事故，应迅速关闭燃气，然后关闭助燃气。
2、石墨炉原子化器的维护石墨炉原子化器的维护，主要为通冷却水进行冷却，避免把石墨炉原子化器烧坏。
3、空心阴极灯的维护不要用硬物撞击空心阴极灯，换灯时，要穿戴纱手套；热的灯管要防止被溶液溅射；一旦石英窗口被污染，要用脱脂棉蘸无水乙醇擦拭干净。
4、供气管道的维护与检漏供气管道要经常检查、检漏。如果发现管道老化发硬变黑，要及时更新；如果有漏气现象应采取堵漏措施。
5、燃烧器的维护如果发现燃烧器的火焰分叉，应马上熄灭火焰，采用刀片等适当工具把缝口的积盐等污染物除去，或把燃烧器取下用水冲洗排除污物。
6、雾化器的金属毛细管的维护与检修当雾化器的金属毛细管被堵塞时，可用洗耳球从出样口吹气，排除堵塞物，或用较软的金属细丝进行疏通。
7、ICP原子化器的维护ICP原子化器的各种炬管多为玻璃材料制成，容易破碎和堵塞，所以要小心使用，不要碰击硬物或摔碎。如果被样品残留物堵塞，可以用酸洗或溶剂清洗。
